國內首條碳基集成電路生產線 為何誕生在重慶？

　　國內首條碳基集成電路生產線為何誕生在重慶？碳基芯片能打破摩爾定律的“天花板”，取代硅基芯片成為主流嗎？“中國芯”能憑此逆風翻盤，實現(xiàn)“換道超車”嗎？碳基芯片距離我們的生活還有多遠？……隨著國內首條碳基集成電路生產線在渝投運，人們對“中國芯”有了新期待。近日，記者帶著一系列問題，走進北京大學重慶碳基集成電路研究院（以下簡稱“北大重慶碳基院”）進行了采訪。

　　25年磨一劍

　　國內首條碳基集成電路生產線在渝投運

　　西部（重慶）科學城西永微電園是一棟三層小樓，是北大重慶碳基院的所在地。今年4月，研究院剛從附近的一處臨時辦公場地喬遷于此。

　　記者走進研究院，一塊大屏幕映入眼簾。屏幕上顯示的，便是國內首條碳基集成電路生產線的實時場景——

　　潔凈的生產車間里，幾個身著防塵服的工人在來回走動，他們身旁的設備有序運行著，一道道工序完成后，碳基晶圓便從這里下線。

　　“這條生產線上，碳基集成電路專用設備有十幾臺，都是國產的，一部分還是由我們北大團隊和研究院團隊自主研發(fā)的?！北本┐髮W電子學院教授、北大重慶碳基院院長張志勇說。

　　研究院展廳里，兩片薄薄的8英寸碳基晶圓放在玻璃展示柜上，經(jīng)過后續(xù)加工，一片晶圓能分割出100多顆碳基芯片。目前，生產線投運一個月，像這樣的晶圓，已經(jīng)實現(xiàn)量產。

　　“這一天，我們等了25年！”他感慨道。

　　碳基芯片，顧名思義，是以碳為核心材料制造而成。具體而言，北大重慶碳基院采用的是碳納米管。這種材料于上世紀90年代被發(fā)現(xiàn)，是一種由碳原子組成的微小管狀結構。以中國科學院院士彭練矛領銜的北大碳基團隊，對它的研究已有25年。

　　碳基晶圓的旁邊，就擺放著一個碳納米管模型，它比實際的碳納米管放大了一億倍?！疤技{米管肉眼不可見，直徑只有1—2納米，相當于頭發(fā)絲的50萬分之一?！睆堉居陆榻B。

　　不過，這些管子雖然很微小，卻有強大到令人驚嘆的特性——電子在碳納米管里的移動速度比硅快約10倍，這意味著，它能制造出運算速度更快的電子器件，且功耗低、散熱效果好。更重要的是，有別于硅基芯片是晶體管的二維集成，它能實現(xiàn)晶體管的三維集成，達到更高的集成度，在理論上具有更高的性能潛力，從而打破摩爾定律的“天花板”，突破當前硅基芯片面臨的技術瓶頸。

　　事實上，上世紀90年代，國內外知名高校、科研機構和企業(yè)都對碳納米管表示出極大興趣，掀起了一波研究熱潮。不過，那時研究人員是基于單根碳納米管展開研究，要將幾十億甚至上百億根的碳納米管晶體管集成在一張基底材料上，他們認為是一個不可逾越的障礙，因而無法制備出碳基芯片。

　　后來，不少研究人員都選擇了放棄，但北大碳基團隊一直在堅持。

　　為何要堅持？這是科學家勇闖“無人區(qū)”的科學追求，更是芯片破解“卡脖子”難題、擺脫受制于人的國家使命。

　　張志勇坦言，硅基芯片在美國已經(jīng)發(fā)展了60多年，而在整個硅基芯片的研發(fā)上，我們國家落后很多，不論是材料還是設備、軟件、制造工藝等，都是購買別人的，想在硅基的道路上“彎道超車”不太現(xiàn)實，需要“換道開車”。而在碳基的道路上，對全球來說，這都是一條全新的賽道，更何況，目前我們還處于相對領先的位置，甚至有望憑此“換道超車”，“要想不受制于人，我們必須要發(fā)展自己的集成電路技術?！?/p>

　　為此，自2001年以來，在國家持續(xù)20年的專項支持下，北大碳基團隊從零開始，探究用碳納米管材料制備集成電路的方法，研發(fā)出一整套高性能碳納米管晶體管的無摻雜制備方法。

　　成功“牽線”

　　選擇重慶有4大原因

　　2020年，北大碳基團隊首次制備出達到大規(guī)模碳基集成電路所需的高純、高密碳納米管陣列材料，并加工出性能超越硅基集成電路的碳納米管集成電路。相關研究成果在世界頂級期刊《科學》上發(fā)表。

　　然而，這并不意味著碳基集成電路技術就完成了技術落地，具備市場競爭力。把學校實驗室的技術變成一個可規(guī)模生產的工業(yè)化技術，讓碳基芯片實現(xiàn)規(guī)?；a和應用，這中間還有很長的路要走。

　　在張志勇看來，要實現(xiàn)規(guī)?；a，就需要專用的生產線，這是學校里所不具備的。要想推動碳基集成電路技術繼續(xù)向前走，他們就需要走出學校，爭取更多資源，開展碳基集成電路的工程化和未來的產業(yè)化研究。

　　北大重慶碳基院常務副院長劉洪剛于2021年加入北大碳基團隊，他的主要工作，就是推動碳基集成電路技術的工業(yè)化和產業(yè)化。

　　據(jù)他回憶，那時，團隊在國內不少地方都進行了考察，一些省市也主動找上門，給出很有吸引力的政策。但經(jīng)過一年的調研和洽談，以及深思熟慮，他們最終選擇了重慶。

　　原因有多方面：首先，重慶是中西部唯一的直轄市，在國家發(fā)展戰(zhàn)略中占有重要地位。其次，重慶擁有產業(yè)化人才資源，不僅本地有很多電子類院校，還引進和培育了大量新型研發(fā)機構，吸引和聚集了很多產業(yè)化人才。再次，從國家到地方，都制定和出臺了不少政策，支持重慶大力發(fā)展集成電路產業(yè)。另外，重慶的智能網(wǎng)聯(lián)新能源汽車、新一代電子信息等產業(yè)的發(fā)展，讓這里具備豐富的應用場景，一旦碳基芯片實現(xiàn)規(guī)?；慨a，就能在這里快速落地應用。

　　事實上，劉洪剛透露，這當中還有一個重要原因，在重慶市政府的支持下，西永微電園基于一流的產業(yè)資源和政策優(yōu)勢，當時已經(jīng)成功搭建了一條8英寸硅光特色工藝生產線，這讓團隊眼前一亮。

　　“盡管這條生產線和我們的技術路徑不一樣，但在此基礎上進行改造，增加一些碳基集成電路專用設備，就能迅速搭建起一條碳基集成電路生產線?！彼嬖V記者，碳基集成電路的工程化和產業(yè)化有許多問題亟待解決，需要很長的時間和大量的投入。在現(xiàn)有資源的基礎上建設生產線，無疑將為團隊節(jié)省大量的時間和投入。

　　當市政府有關領導率隊前往北大進行洽談時，一聽說這條生產線，整個碳基團隊都非常興奮。最終，這條生產線讓北大碳基團隊與重慶“牽線”成功，2023年11月，北大重慶碳基院在西永微電園正式揭牌成立，就在這條生產線附近“安了家”。

　　也是從那一年起，劉洪剛開始常駐重慶?！皠倎頃r，我們雖在臨時場地辦公，但距離生產線只有三五百米。團隊人員隔三岔五就往產線跑，甚至從早到晚就泡在車間里?！彼寡?，從實驗室的技術研究，到生產線的工程化驗證，這一步很關鍵。盡管團隊在實驗室里做出了一些碳基芯片，效果不錯，但要從生產線上加工出來，會面臨一些新的技術難題，有待團隊進行二次開發(fā)。

　　經(jīng)過一年多的攻關，隨著生產線動起來，一片片碳基晶圓開始下線，整個工藝流程走通了！

　　第一片碳基晶圓下線后，劉洪剛發(fā)了一條微信朋友圈，放上了一張“新鮮出爐”的晶圓照片。一時間，他的朋友圈就炸了鍋。

　　“沿途下蛋”推動成果落地

　　力爭到2028年年產碳基晶圓10萬片

　　早在2009年，國際半導體技術發(fā)展路線圖（ITRS）委員會就把碳納米管列為延續(xù)摩爾定律的未來集成電路材料選擇。如今，用碳納米管晶體管制備的碳基芯片，綜合性能可以比硅基芯片提高成百上千倍，逐漸成為學界的共識。

　　目前，北大重慶碳基院團隊已組建起一支60人的碳基工程化隊伍，由彭練矛院士擔任首席科學家，高層次青年人才擔任核心骨干，碩博比例達到50%以上。

　　“在碳基集成電路技術的工程化發(fā)展上，可以說，我們是從鄉(xiāng)村小路走上了高速路?！睆堉居赂锌馈?/p>

　　事實上，團隊還有更長遠的技術發(fā)展規(guī)劃——“十四五”時期，在上述碳基集成電路生產線上，完成從器件設計、單步工藝、工藝集成到器件優(yōu)化的全流程技術能力建設，邁出碳基芯片從實驗室走向工程化的第一步。在此基礎上，“十五五”時期，獨立打造28納米碳基集成電路生產線，對標7納米硅基集成電路性能，到2028年實現(xiàn)年產碳基晶圓10萬片的目標。

　　事實上，團隊在工藝技術上保持領先水平的同時，也為重慶打造碳基集成電路技術高地和產業(yè)化高地先發(fā)優(yōu)勢奠定了堅實基礎。

　　“在這一年多的發(fā)展中，我們和西永微電園的多家企業(yè)都建立了合作，已深度融入了重慶集成電路產業(yè)鏈上下游?！眲⒑閯傉f，近期，研究院還與重慶賽寶工業(yè)技術研究院達成合作，在西永微電園建設碳基集成電路檢測中心，打造國內一流的檢測平臺，面向行業(yè)提供公共服務。

　　“將尺寸更小、速度更快、性能更強、功耗更低的碳基芯片推至行業(yè)主流，讓人們更好地享受智能時代的生活，是團隊的未來目標。盡管路還很長，但我們已經(jīng)在通過‘沿途下蛋’的方式，推動成果落地轉化?！痹搱F隊相關負責人說。

　　“碳基芯片可以繞過先進光刻機的限制，具有更廣泛的應用前景?！北贝笾貞c碳基院技術研發(fā)人員王程博稱，目前，研究院正聚焦智能傳感、模擬射頻、先進電子、AI芯片四個應用方向，逐步推進碳基芯片產品的應用開發(fā)。

　　在研究院的展廳，擺放著一款氫氣檢測儀，這是研究院團隊聚焦智能傳感領域，開發(fā)的全球首款碳基手持式氫氣檢測儀。黑色的外表，只有遙控器一般大小，因為內置了一顆碳基芯片，它已經(jīng)展現(xiàn)出強大的功能。

　　“這款產品在重慶多家車企進行了應用?！蓖醭滩┙榻B，只要將它靠近氫能源汽車，就能快速靈敏地檢測出是否有氫氣泄漏。即便是在新疆等地極端氣候下，它也展現(xiàn)出穩(wěn)定的性能，可以為氫能源汽車發(fā)展提供安全保障。

　　像這樣搭載碳基芯片的產品，今后還將有很多。劉洪剛介紹，目前，北大重慶碳基院已經(jīng)成立了產業(yè)孵化平臺，通過提供“人才培養(yǎng)、平臺共享、技術轉讓、種子基金”等扶持政策，未來將重點孵化5家創(chuàng)新型科技企業(yè)，加快培育壯大碳基集成電路產業(yè)生態(tài)。

　　劉洪剛稱，碳基集成電路一旦進入主流集成電路市場，將帶動上下游產生千億量級的產值，助力重慶成為集成電路技術與人才高地，為重慶打造萬億級新一代電子信息技術制造業(yè)貢獻力量。

（文章來源：上游新聞）

(原標題：國內首條碳基集成電路生產線，為何誕生在重慶？)

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